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1958年頃から組織的な研究が始まったクリーンルーム技術は、第2次世界大戦時には米国で放射性微粒子除去用として誕生したHEPAフィルタの開発が進み、さらに1990年代に入って半導体産業の微細化に伴い、より捕集効率の高いULPAフィルタが開発されました。

また、宇宙開発「アポロ計画」の進展とともに、宇宙からの地球への持ち込みの防止、同時に大気圏外への細菌の持ち出しを防止する目的で、1967年にNASAによりバイオクリーンルームの規格が作られました。

クリーンルームにおける4原則

クリーンルームの清浄度を維持、向上させるためには次の微粒子に対する4つの原則に留意しながら施設を設計、建設、運営する必要があります。

1.　微粒子を持ち込まない

吹出空気の清浄化や室内圧等のコントロールを行い、気密性が高く、業務上の動線計画を行うことで外部からクリーンルーム内に微粒子を持ち込まないようにします。

2.　微粒子を排除する

クリーンルーム内に僅かながらも存在する微粒子を空調による気流によって、また換気を回数行うことで排除するようにします。

3.　微粒子を発生させない

クリーンルームの内装仕上げ等を適切に行うことで微粒子の発生を抑止します。また更衣や清掃に対する管理も徹底します。

4.　微粒子を堆積させない

クリーンルームの建築計画において、凸凹のない形状を用い、仕上げ等でも微粒子の堆積しにくい状況を作ります。

この4原則の1つ「クリーンルーム内で微粒子を発生させない」ウェアの製造技術を確立。その精度は現代最高レベルであるJISクラス1を誇ります。

クリーンルームの清浄度とウェアの選択基準

クリーンルームの清浄度は業界ごとに規格内容が異なります。将来的には、「JIS方式」に移行していくものと思われますが、現状では、クラスを用いた呼び方が一般的です。このカタログでは、米国連邦規格及びJIS規格に準じてクリーンルームの清浄度の度合いを表現します。

インダストリアルクリーンルームの規格

＜米国連邦規格FED-STD-209Eに基づくクラス定義＞

粒子の基準粒径を0.5μｍ以上とし、1立方フィートあたりに存在する個数によってClass1からClass100,000の6段階で表示します。

＜JIS規格に基づく定義＞

粒子の基準粒径をO.1μm以上とし、１立方メートルあたりに存在する個数によってクラス１からクラス８の８段階で表示します。

バイオロジカルクリーンルームの規格

清浄度のクラスをＡ（Class100）〜Ｄ（Class100,000）まで4段階のクラスゾーンに分け清浄度を表示しています。

クリーンルームの利用分野

クリーンルームの利用分野は「バイオロジカル（生物系）」「インダストリアル（工業系）」と大きく2 つに分けることができます。