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最先端産業において不可欠のクリーンルームについてご紹介させて頂きます。
1958 年頃から組織的な研究が始まったクリーンルーム技術は、第2 次世界大戦
時には米国で放射性微粒子除去用として誕生したHEPA フィルタの開発が進み、
さらに1990 年代に入って半導体産業の微細化に伴い、より捕集効率の高い
ULPA フィルタが開発されました。
また、宇宙開発「アポロ計画」の進展とともに、宇宙からの地球への持ち込みの
防止、同時に大気圏外への細菌の持ち出しを防止する目的で、1967 年にNASAによりバイオクリーンルームの規格が作られました。
加速的に高度化する産業社会
ますますニーズ高まるクリーンルーム
技術の進展に伴って、今日では薬品、食品などの製造工程、実験動物施設、遺伝
子研究施設などの研究施設にもバイオクリーンルーム技術が広く利用されるよう
になっています。
■クリーンルームにおける4 原則
クリーンルームの清浄度を維持、向上させるためには次の微粒子に対する4 つの
原則に留意しながら施設を設計、建設、運営する必要があります。
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| 1. |
微粒子を持ち込まない
吹出空気の清浄化や室内圧等のコントロールを行い、気密性が高く、
業務上の動線計画を行うことで外部からクリーンルーム内に微粒子
を持ち込まないようにします。
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| 2. |
微粒子を排除する
クリーンルーム内に僅かながらも存在する微粒子を空調による気流
によって、また換気を回数行うことで排除するようにします。
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| 3. |
微粒子を発生させない
クリーンルームの内装仕上げ等を適切に行うことで微粒子の発生を
抑止します。また更衣や清掃に対する管理も徹底します。
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| 4. |
微粒子を堆積させない
クリーンルームの建築計画において、凸凹のない形状を用い、仕上
げ等でも微粒子の堆積しにくい状況を作ります。
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この4 原則の1 つ「クリーンルーム内で微粒子を発生させない」ウェアの製造
技術を確立。その精度は現代最高レベルであるJIS クラス1 を誇ります。
■クリーンルームの清浄度とウェアの選択基準
クリーンルームの清浄度は業界ごとに規格内容が異なります。将来的には、「JIS
方式」に移行していくものと思われますが、現状では、クラスを用いた呼び方が
一般的です。このカタログでは、米国連邦規格及びJIS 規格に準じてクリーンルー
ムの清浄度の度合いを表現します。
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Relative Link
クリーンルームの定義について
■クリーンルームとは■
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コンタミネーションコントロールが
行われている限られた空間であって、
空気中における浮遊微粒子、浮遊微
生物が限定された清浄度レベル以下
に管理され、また、その空間に供給
される材料、薬品、水などについて
も要求される清浄度が保持され、必
要に応じて温度、湿度、圧力などの
環境条件についても管理が行われて
いる空間。 |
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■コンタミネーションコントロール（清浄度管理）とは■
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コンタミネーションコントロールが
行われている限られた空間であって、
空気中における浮遊微粒子、浮遊微
生物が限定された清浄度レベル以下
に管理され、また、その空間に供給
される材料、薬品、水などについて
も要求される清浄度が保持され、必
要に応じて温度、湿度、圧力などの
環境条件についても管理が行われて
いる空間。 |
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Remarks
クリーンルームの規格について
■代表的な規格■
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現在、日本で一般に使用されている
清浄度クラス表示は必ずしも統一さ
れていません。方式ごとに基準とな
る体積や粒子径が違うために、どの
規格による表示なのかを注意する必
要があります。代表的なものは、次
の4 つです。 |
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● JIS 方式 |
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JIS B 9920 の清浄度クラスの表
示で1m3 中の0.1μm 以上の粒子数
を10 のべき乗で表したときの指数
で表します。ISO 基準が制定された
のを受け、2002 年に改定。 |
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● FED-STD-209E
（米国連邦規格・1988 年） |
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JIS B 9920 の清浄度クラスの表
示で1m3 中の0.1μm 以上の粒子数
を10 のべき乗で表したときの指数
で表します。ISO 基準が制定された
のを受け、2002 年に改定。 |
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● FED-STD-209E
（米国連邦規格・1992 年） |
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単位はメートル法（IS 単位）を優先し、
英国単位（FS 単位）を併記します。
清浄度クラスは0.5μm 以上粒子を
基準とし、粒子数を10X 乗個/m3
で表し、X 値をクラスとします。メー
トル法使用を明確とするためM を付 |
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● ISO 方式 |
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初の世界統一規格として日本・米国・
欧州共同体を中心に作成が進められ
ています。ISO 規格は「クリーンルー
ムと付帯する制御環境」を規定した
次の二つから成ります。 |
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